在微電子用潔凈室、藥品生產(chǎn)用潔凈室中,常常在產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程中使用或產(chǎn)生,各種酸性和堿性物質(zhì)、有機溶劑和一般氣體、特種氣體;在致敏性藥物、某些甾體藥物、高活性、有毒性藥物生產(chǎn)過(guò)程還會(huì )有相應的有害物質(zhì)排出或泄漏入潔凈室內,為此對于上述產(chǎn)品生產(chǎn)用潔凈室內可能排出各種有害物質(zhì)、氣體或粉塵的生產(chǎn)工藝設備或工序設置局部排風(fēng)裝置或全室排風(fēng)裝置,按生產(chǎn)工藝過(guò)程排出的廢氣的類(lèi)型可將排風(fēng)裝置(系統)大體劃分為下列幾種類(lèi)型。
一般排風(fēng)系統
這是指在生產(chǎn)輔助用室、生活用室,如值班室、衛生間等排出的一般廢氣,大多數情況下不需要進(jìn)行特殊處理即可直接排入大氣。
有機氣體排風(fēng)系統
在產(chǎn)品生產(chǎn)中使用各類(lèi)有機物質(zhì)、溶劑作為原輔材料或清洗劑時(shí),都將會(huì )在相關(guān)的場(chǎng)所或設備處散發(fā)有機物質(zhì)、溶劑的氣體,對這類(lèi)場(chǎng)所或設備均應設置排風(fēng)裝置。在一般情況下,有機排風(fēng)系統中的有機氣體濃度是很低的,若能達到國家標準規定的大氣排放標準時(shí)可直接排入大氣,不需設置廢氣處理裝置;當排風(fēng)系統中有機氣體濃度超過(guò)規定時(shí),應設有機氣體處理裝置,經(jīng)過(guò)處理達標后才能排入大氣。有機排氣的凈化處理有活性炭吸附法、液體吸收法和催化燃燒法等,活性炭吸附注主要用于中小流量的不含粉塵、膠粘物質(zhì)的苯類(lèi)、汽油類(lèi)有機排氣的處理;液體吸收法,設備簡(jiǎn)單、耗能低,但吸收效率不高;催化燃燒法主要用于較高濃度的苯類(lèi)、醇類(lèi)、脂類(lèi)、汽油等有機排氣的處理。有機氣體處理裝置應根據排風(fēng)系統所含有機物質(zhì)的品種、濃度情況選用相應的處理設備。
在產(chǎn)品生產(chǎn)中的濕法化學(xué)腐蝕、酸液清洗、實(shí)驗室內均有酸性氣體排出,在這類(lèi)酸性氣體的排風(fēng)系統通常設置溫式洗氣吸收塔,處理后排入大氣,圖5-56是幾種吸收式洗氣塔的形式。實(shí)際設計時(shí)應根據酸性氣體的類(lèi)型、濃度選用合適的吸收液和吸收塔的形式[20]
堿性氣體排風(fēng)系統
在排風(fēng)系統氣體中含有堿性物質(zhì)或在排氣中混入堿性化學(xué)試劑,與酸性氣體排風(fēng)系統類(lèi)似,通常采用濕式洗氣吸收塔處理后排入大氣。近年來(lái),由于大氣排放標準越來(lái)越嚴格,需對含有堿性物質(zhì)(或酸性物質(zhì))濃度較低的排氣也應進(jìn)行凈化處理才能達到排放標準,為此可采用專(zhuān)用吸附劑對堿性排氣(或酸性排氣)進(jìn)行處理達標后才能排入大氣,此種吸附劑一般為一次性的,使用后應進(jìn)行集中處理,通常作為固體廢棄物由城市垃圾處理場(chǎng)集中處理。
熱氣體排風(fēng)系統
對生產(chǎn)過(guò)程中的各種爐子、高溫滅菌設備等均有熱氣排出,由于排氣溫度校高,有時(shí)可采用熱回收等方式進(jìn)行處理,若排氣量較小或不便進(jìn)行處理時(shí),在采取必要的隔熱措施后直接排入大氣。
含粉塵的排風(fēng)系統
鑒于產(chǎn)品品種不同、生產(chǎn)工藝過(guò)程不同,排氣中的粉塵性質(zhì)、濃度均各不同,應根據其排氣中的粉塵性質(zhì)、濃度選用各類(lèi)除塵裝置,一般采用布袋除塵器、帶過(guò)濾元件的過(guò)濾裝置[21],圖5-57是一種帶過(guò)濾元件的過(guò)濾除塵器。
藥品生產(chǎn)中有害、有毒的排風(fēng)系統
在生產(chǎn)或分裝青霉素等強致敏性藥物、某些甾體藥物以及高活性、有毒藥物的房間、二類(lèi)危險度以上病原體操作區的排風(fēng)口,應安裝高效過(guò)濾器,使這些藥物引起的污染危險降低至最低限度。并且此類(lèi)排風(fēng)系統的排入大氣的排風(fēng)口與其他藥品生產(chǎn)用凈化空調系統的新風(fēng)進(jìn)風(fēng)口應相隔一定距離。